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東京エレクトロンデバイスは、FA関連事業を手がけるファースト（神奈川県大和市。売上高20億円、営業利益1400万円、純資産5億6000万円）の全株式を取得し、子会社化することを決議した。

ファーストは1982年設立以来、画像処理技術を生かした物体形状認識ソフトを製品化し、併せて画像処理装置や画像入力ボートなど機器の開発も行う。東京エレクトロンデバイスは技術・営業面の連携を通じてより高度な画像処理ソリューションの提供を目指す。

株式取得価額は20億6600万円。
株式取得予定日は2018年7月2日。