2012年5月24日
日立ハイテクノロジーズは、セイコーインスツルの完全子会社で分析・計測・観察装置の開発・製造・販売を行うエスアイアイ・ナノテクノロジー（千葉市。売上高155億円、営業利益4300万円、純資産43億3000万円）の全株式を取得することを決議した。
エスアイアイ・ナノテクノロジーは、分析・計測装置等の先端分野において競争力のある製品を製造・販売している。日立ハイテクノロジーズは化学・医用システム事業の成長戦略を推し進める中、エスアイアイ・テクノロジーを取り込むことで、X線、熱分析、イオン光学、物理計測技術などのコア技術及び製品ラインナップの拡充を図る。
取得価額は未定。取得予定日は2012年10月１日。