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住友精密工業は、米半導体製造装置メーカーのAviza Technologies, Inc.（Aviza、カリフォルニア州）のMEMS（微小電子機械システム）製造装置事業を取得すると発表した。取得価額は約9億4500万円。取得予定日は2009年９月30日。

住友精密工業は今回の事業買収により、米国子会社などが展開するMEMS関連事業分野で、製造プロセスの最適ソリューションをパッケージで提供することが可能になる。Avizaは日本の民事再生法にあたる米連邦破産法チャプター11の適用を申請しており、買収は裁判所の同意・許可を前提としている。